黄色一区二区黄色在线观看影院,yy6080久久亚洲精品,国产AV亚洲一区精午夜麻豆,日本一区二区三区免费播放视频站,美女国产毛片A区内射,久久亚洲精品中文字幕波多野结衣

輸入電壓: 400 V AC, 3 ph, 50 Hz, 3 x 45 A;

(推薦保險(xiǎn)絲:50 A / NH00-gL/gG)

外部尺寸：寬 = 800 mm, 長 = 1200 mm,高 = 2250 mm

高頻功率: Max. 3 kW cw, 2450 MHz

晶圓尺寸： 100, 150, 200 and 300 mm

空氣壓縮：  特性: 不含油, 干燥, 5 ìm 過濾

                    壓力: 6 bar - 9 bar

工作條件:   周邊溫度: 5 °C - 45 °C 無冷凝

                   T max. = 45 °C < 3 h/d,

                   濕度: 30 °C時(shí)濕度80%,

                    45 °C 時(shí)線性降至50%

輸入氣體： 氧氣 (O2), 氮?dú)?(N2), 四氟甲烷 (CF4), 六氟化硫 (SF6), 氬氣 (Ar);

氣體壓力:   0.5 mbar - 5.3 mbar

冷卻: 內(nèi)部風(fēng)冷和水冷

         冷卻水壓力：4.5 bar - 6 bar,

         入水口溫度： 20 °C - 25 °C

工作板: 溫度: 20 °C - 200 °C

              加熱/冷卻液: 油

連接器: CEE-Connector plug 63 A (電源),

             CEE-Connector-female (真空泵),

             USB / COM / Ethernet (接口),

              ½“ lock coupling Rectus Series 87 (冷卻水),

              ¼“ 轉(zhuǎn)矩離合器 (壓縮空氣),

              6 mm Swagelok (輸入氣體),

              ISO-K63 (真空泵輸出),

              Stud M6 (PE)

裝配： 全封閉式鋁殼

            固體封裝組裝

重量:    約 550 kg