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| 聯(lián)系人： | 董強 |
| 所在城市： | 河北省 唐山市 |
| 詳細(xì)地址： | 路北區(qū)韓城西部經(jīng)濟開發(fā)區(qū) |
詳細(xì)信息
一、任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強范圍寬、無內(nèi)部電極污染等特點，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學(xué)氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉(zhuǎn)化制氫、長余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
二、任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品特點：
1. 垂直反應(yīng)器的設(shè)計可使等離子密度高；對稱的微波發(fā)生裝置，使產(chǎn)生的等離子場環(huán)境更均勻。
2. 微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內(nèi)沒有內(nèi)部電極,可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染,而且,它的運行氣壓范圍比較寬,所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。
三、任氏巨源微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)參數(shù)：
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型號/model |
WBMW-DLZ3 |
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可加熱材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
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微波頻率 |
2.45GHZ±50MHz |
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加熱方式 |
純微波加熱 |
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射頻功率/KW |
3 (功率可調(diào)) |
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工作溫度/℃ |
1200 |
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長期工作溫度/℃ |
≤1100 |
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溫度測試元件 |
微波場專用傳感器/紅外測溫可選 |
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控溫精度/℃ |
±2（微波場專用傳感器） |
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石英管尺寸(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm |
φ102/φ92x1000 |
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真空系統(tǒng)配置（可選） |
簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭； 10-1Pa真空機械泵及真空計； 10-2Pa真空機械泵、擴散泵及真空計； 10-3Pa真空機械泵、分子泵及真空計； |
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升溫速率(標(biāo)配) |
0～1000℃/min可任意設(shè)定，可編程、分段加熱 |
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外型尺寸(長x寬x高)/mm |
1000´750´1830 |
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微波泄漏量/ mw/cm2 |
≤0.4 |
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提供相關(guān)配件 |
防護 手套×1、中文說明書×1 |
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保質(zhì)期 |
整機免費保修1年 |
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