| 聯(lián)系人: | 肖先生,崔先生 |
| 所在城市: | 江蘇省 南京 |
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詳細(xì)信息
儀器簡介:
該設(shè)備利用頻率為2450MHz的微波激勵(lì)稀薄氣體放電,從而產(chǎn)生等離子體??捎糜诘入x子體氣相沉積、等離子體氣相刻蝕等實(shí)驗(yàn),用于制備金剛石膜或其它多種功能薄膜,可催化引發(fā)常規(guī)化學(xué)很難實(shí)現(xiàn)的反應(yīng)
技術(shù)參數(shù):
本設(shè)備由微波系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等幾部分組成
電源:AC220V,50Hz
微波功率:0-1500W連續(xù)線性可調(diào)(或0-1000W連續(xù)線性可調(diào))
微波頻率:2450MHz±50MHz
石英管反應(yīng)室:φ50mm
放置樣品的基片臺(tái)可以方便地在放電腔內(nèi)上下升降調(diào)節(jié)
放電腔兩端有雙層水冷套作降溫保護(hù)
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