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微波對(duì)硅材料具有高效加熱、整體加熱、負(fù)反饋加熱等特性，可實(shí)現(xiàn)快速、均勻加熱。
基于微波的高阻硅芯啟動(dòng)，可在短時(shí)間內(nèi)（20~30min）將高純硅芯（500~2000Ω）加熱到300~500℃，使還原爐可在低壓條件下（2000V以下）順利啟爐。
采用獨(dú)特、緊湊的微波饋入結(jié)構(gòu)，利用還原爐現(xiàn)有的視鏡口實(shí)現(xiàn)微波的無(wú)接觸式饋入加熱。