|
|
|
|
| 聯(lián)系人： | 董強 |
| 所在城市： | 河北省 唐山市 |
| 詳細地址： | 路北區(qū)韓城西部經(jīng)濟開發(fā)區(qū) |
詳細信息
一、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐特點：
1. 高溫微波化學(xué)氣相沉積爐，采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的非易燃易爆材料，
2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設(shè)置，控溫穩(wěn)定度好，熱慣性小。同時加熱多個溫區(qū)，且加熱區(qū)長度可調(diào)。
3. 可通各種氣氛，抽真空有機械泵、擴散泵和分子泵，可達10-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結(jié)構(gòu)），耐高溫、耐腐蝕；
5、保護管采用耐高溫合金管 ，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；
6、爐體配有自動冷卻風(fēng)扇，降低溫度；
7、真空系統(tǒng)：機械泵 擴散泵和分子泵，真空密度計
8、可通過電腦全程監(jiān)控和調(diào)試；
二、任氏巨源微波化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品參數(shù)：
|
型號/model |
WBMW-QXCJ4 |
||
|
可加熱材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
||
|
微波頻率 |
2.45GHZ±50MHz |
||
|
加熱方式 |
純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱、混合加熱 |
||
|
微波功率/KW |
4 (功率可調(diào)) |
||
|
溫度測試元件 |
微波場專用傳感器 |
||
|
控溫精度/℃ |
±2（微波場專用傳感器） |
||
|
加熱管材質(zhì) |
石英管 |
高溫合金管 |
剛玉管 |
|
加熱溫度/℃ |
1200 |
1200 |
1600 |
|
管徑(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm |
∅45/∅35×1200，可選配，***大外徑∅60 |
||
|
加熱速度 |
≦200 |
升溫速率不限 |
≦50 |
|
恒溫區(qū)長度 |
標(biāo)配恒溫區(qū)長度100mm，恒溫去長度100mm以上可定制 |
||
|
溫區(qū) |
可多溫區(qū)同時加熱 |
||
|
氣路法蘭 |
304不銹鋼法蘭 |
||
|
質(zhì)量流量控制 |
美國Alicat質(zhì)量流量&控制器、七星華創(chuàng)質(zhì)量流量&控制器 氣柜、氣路及各類閥門，可配套計算機自動控制系統(tǒng)及軟件 |
||
|
氣路數(shù)量 |
2路或3路 |
||
|
流量范圍 |
0-1SLM(標(biāo)準升/分，可選配）氮氣標(biāo)定 |
||
|
精度 |
±0.2%F.S |
||
|
響應(yīng)時間 |
≤1sec |
||
|
工作壓力 |
進氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力），流量規(guī)格≤10SLM |
||
|
系統(tǒng)連接方式 |
采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀 |
||
|
系統(tǒng)真空范圍 |
標(biāo)準大氣壓～10-3Pa |
||
|
真空泵 |
簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭 10-1Pa真空機械泵及真空計 10-2Pa真空機械泵、擴散泵及真空計 10-3Pa真空機械泵、分子泵及真空計 |
||
|
爐腔尺寸/mm |
700X350X530 |
||
|
加熱腔(標(biāo)配) |
0.5-3L 2個 |
||
|
加熱腔大小 |
0.94L，2.12L，3.8L |
||
|
升溫速率(標(biāo)配) |
0～1000℃/min可根據(jù)實際任意設(shè)定，可編程、分段加熱 |
||
|
外型尺寸/mm |
1500´750´1560 |
||
|
微波泄漏/ mw/cm2 |
≤0.4 |
||
|
提供相關(guān)配件 |
防護手套×1、中文說明書×1 |
||
|
保質(zhì)期 |
整機免費保修1年 |
||
還沒找到想要購買的產(chǎn)品嗎？嘗試免費發(fā)布求購信息，讓供應(yīng)商主動找上門！
| 會員服務(wù) ｜ 推廣服務(wù) ｜ 幫助中心 ｜ 聯(lián)系我們 中工科技-微波網(wǎng) 版權(quán)所有1999-2026 浙ICP備07502667號-27 客服QQ：189990251  版權(quán)所有：杭州中工科技有限公司 法律顧問：京衡律師集團事務(wù)所 |
